直拉硅片

產(chǎn)品詳情

單晶硅是一種優(yōu)良的高純半導(dǎo)體材料，IC級(jí)別的純度要求達(dá)到9N以上（99.9999999%），區(qū)熔單晶硅片甚至達(dá)到11N（99.999999999%）以上。通常通過(guò)直拉法（CZ）和區(qū)熔法（FZ）長(zhǎng)晶得到，其晶向通過(guò)籽晶來(lái)決定。單晶硅是目前最重要的半導(dǎo)體材料，占據(jù)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的90%以上，是信息技術(shù)和集成電路的基礎(chǔ)材料。

Diameter	2"	3"	4"	5"	6"	8"	12"
Grade	Prime
Growth Method	CZ
Orientation	<1-0-0>,<1-1-1>,<1-1-0>
Type/Dopant	P Type/Boron,N Type/Phos,N Type/As,N Type/Sb
Thichness (um)	279	380	525	625	675	725	775
Thichness Tolerance	Standard ±25um, Maximum Capabilities ±5um					± 20um	± 20um
Resistivity	0.001-100 ohm-cm
Surface Finished	P/E,P/P,E/E,G/G
TTV (um)	Standard < 10um, Maximum Capabilities < 5um
Bow/Warp (um)	Standard < 40um, Maximum Capabilities < 20um					<40um	<40um
Particle	<10@0.5um; <10@0.3um; <10@0.2um

供應(yīng)產(chǎn)品

區(qū)熔硅片

化合物半導(dǎo)體

外延片

氧化片

單晶硅棒

直拉硅片

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